X射线荧光光谱仪具有重现性好，测量速度快，灵敏度高的特点。能分析F(9)～U(92)之间所有元素。样品可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。无标半定量方法可以对各种形状样品定性分析，并能给出半定量结果，结果准确度对某些样品可以接近定量水平，分析时间短。
  X射线荧光光谱仪工作原理介绍
用X射线照射试样时，试样可以被激发出各种波长的荧光X射线，需要把混合的X射线按波长（或能量）分开，分别测量不同波长（或能量）的X射线的强度，以进行定性和定量分析，为此使用的仪器叫X射线荧光光谱仪。由于X光具有一定波长，同时又有一定能量，因此，X射线荧光光谱仪有两种基本类型：波长色散型和能量色散型。下是这两类仪器的原理图。
    用X射线照射试样时，试样可以被激发出各种波长的荧光X射线，需要把混合的X射线按波长（或能量）分开，分别测量不同波长（或能量）的X射线的强度，以进行定性和定量分析，为此使用的仪器叫X射线荧光光谱仪。由于X光具有一定波长，同时又有一定能量，因此，X射线荧光光谱仪有两种基本类型：波长色散型和能量色散型。下图是这两类仪器的原理图。
  X射线荧光光谱仪分析的一般步骤是：选择分析方法，样品制备，仪器参数选择与校准曲线的制作，试样分析。
　　SuperQ是Axios系列X 射线荧光光谱分析仪的主操作软件，控制光谱仪的运行和定性定量分析数据的处理。SuperQ先汇编各测量参数，再依次检查光学电学条件、校正系数，zui后自动汇编建成定性或定量分析测量程序。
　　Omnian以全程扫描为定性分析的基础，用13个合成的参考样品建立扫描程序获得的测量强度，以此作为定量分析的依据；适用于分析范围很宽的固体、粉末和液体试样的快速无标样近似定量（半定量）分析。