功能：

　　能量色散X射线荧光光谱仪是基于X射线的一种分析手段，当一束高能粒子与原子相互作用时，如果其能量大于或等于原子某一轨道电子的结合能，将该轨道电子逐出，形成一个空穴使原子处于激发态，由于激发态不稳定，外层电子向空穴跃迁使原子恢复到平衡态，跃迁时释放出的能量以辐射的形式放出便产生X荧光。X荧光具有特征的波长，对应的即是特征的能量，通过对光子的特征波长进行辨识，能实现对元素的定性分析，通过探测特征波长的X射线光子的强度，实现元素的定量和半定量分析。

 

　　基本原理

　　当能量高于原子内层电子结合能的高能X射线与原子发射碰撞时，驱逐出一个内层电子而出现一个空穴，使整个原子体系处于不稳定的激发态，然后原子体系会由激发态自发的跃迁到能量低的状态，这个过程称为弛豫过程。弛豫过程既可以是非辐射跃迁，也可以是辐射跃迁。当较外层的电子跃迁到空穴时，所释放的能量随即在原子内部被吸收而逐出较外层的另一个次级光电子，此称为俄歇效应，亦称次级光电效应或无辐射效应，所逐出的次级光电子称为俄歇电子。它的能量是特征的，与入射辐射的能量无关。当较外层的电子跃入内层空穴所释放的能量不在原子内被吸收，而是以辐射形式放出，便产生X射线荧光。X射线荧光的能量或波长是特征性的，与元素有一一对应的关系。