X荧光光谱仪XRF采用两种分光技术，一是通过分光晶体对不同波长的X-荧光进行衍射而达到分光目的，然后用探测器探测不同波长处X-荧光强度，这项技术称为波长色散光谱。另一项技术是首先使用探测器接收所有不同能量的X-荧光，通过探测器转变成电脉冲信号，经前置放大后，用多道脉冲高度分析器进行信号处理，得到不同能量X-荧光的强度分布谱图，即能量色散光谱，简称X-荧光能谱。
X荧光光谱仪XRF的特征谱线的产生是基于不同的机理：
a）入射X射线轰击原子的内层电子，如果能量大于它的吸收边，该内层电子被驱逐出整个原子（整个原子处于高能态，即激发态）。
b）较高能级的电子跃迁，补充空穴，整个原子回到低能态，即基态。
c）由高能态转化为低能态，释放能量。
d）能量如果以X射线的形式释放，则会产生X射线荧光。
主要特点：
无需前处理，非破环性，快速分析。
准确的定性分析；元素测定范围宽。
定量分析，根据不同元素。
可以替代传统的ICP测试方法。
配置新型滤光片，提高Pb、Cd等的灵敏度提高2倍。
配置高计数率电路，增加检测器的计数量，计数率为3000~12000CPS。
增加时间缩短功能，由荧光X射线强度算出测定精度，自动判断所需较少测定时间。
增加自动工作曲线选择功能，依据识别样品种类的不同而选择适宜的工作曲线。
