X射线荧光光谱仪已在地质、冶金、材料、环境等无机分析领域得到了广泛的应用，是各种无机材料中主组分分析重要的技术手段之一，各种与X射线荧光光谱相关的分析技术，如同步辐射XRF、全反射XRF光谱技术等，在痕量和超痕量分析中发挥着重要的作用。
X射线荧光光谱仪的功能：
XRF是基于X射线的一种分析手段，当一束高能粒子与原子相互作用时，如果其能量大于或等于原子某一轨道电子的结合能，将该轨道电子逐出，形成一个空穴使原子处于激发态，由于激发态不稳定，外层电子向空穴跃迁使原子恢复到平衡态，跃迁时释放出的能量以辐射的形式放出便产生X荧光。
X荧光具有特征的波长，对应的即是特征的能量，通过对光子的特征波长进行辨识，XRF能实现对元素的定性分析，通过探测特征波长的X射线光子的强度，实现元素的定量和半定量分析。
X射线荧光光谱仪应用：
固体样品中元素的定性、定量、半定量分析。固体样品类型包括块状固体、小颗粒小配件、薄膜、粉末、滤膜等。常见的XRF谱仪分为波长色散型和能量色散型，两者具有不同的分析范围和分析特点。
本中心安装的仪器为波长色散型XRF，为波长色散XRF元素分析周期表，可分析元素从4号Be元素至95号Am元素，特定的轻元素分析需要配备相应的分光晶体。表1为几种常见的无机材料元素分析手段对比。
