一是X射线光管，X射线光管由阴极灯丝和阳极靶组成，灯丝通电流后会放出热电子，在阴极灯丝和阳极靶之间加一个20～60kV的高压，电子在高压作用下加速撞击阳极靶。阳极靶由金属组成，常用的材料有Rh、Mo、Cr。加速电子撞击阳极靶，与靶金属中的电子相互作用并以X射线光子的形式释放部分能量，这些X射线光子就是激发源。

 

　　二是分光系统，X射线光管产生的X射线激发源照射到被测样品上，激发出样品中各个元素的各条特征谱线，穿过准直器后以平行光入射到分光晶体上。分光晶体利用X射线的衍射特性，将不同波长的X射线分开到不同的衍射角度。

 

　　三是探测系统，探测器接收经过分光以后某一波长的X射线光子，将光子信号转换为电信号，获得强度值。探测器包括流气计数器（正比计数器）和闪烁计数器，流气计数器用于探测轻元素的X射线荧光，闪烁计数器用于探测重元素的X射线荧光。

 

　　波长色散X射线荧光光谱仪的性能特点：

　　1.特殊光路系统

　　采用特殊的光路系统，可满足不同基体中痕量元素的测量，提高信噪比，降低检出限。

 

　　2.400W大功率X光源

　　400W大功率光源使难以激发的痕量元素获得更高的计数率，比普通EDXRF仪器的元素检出限降低一个数量级，更加适合痕量元素的检测。

 

　　3.数字多道技术

　　采用数字多道技术，仪器可探测的计数率可高至100kcps,提高了仪器的测量精度,缩短了测量时间。

 

　　4.油冷散热系统

　　油冷散热系统，保证了大功率X光源的散热，使仪器的运行更加稳定。

 

　　5.光闸系统

　　光闸系统，保证X光源的稳定性，同时提升X光管使用寿命。

 

　　6.抽真空系统

　　抽真空系统，可以满足轻元素的测量。

 

　　7.自动进样系统

　　自动进样系统，可以一次连续检测十二个样品，大大提高了测试人员的工作效率。