X射线荧光光谱仪能够分析元素周期表中的大部分元素，具体而言，从钠元素到铀元素都可以利用这种技术进行检测分析。但是对于原子序数较低的元素，空气会对检测结果产生较大影响；由低原子序数元素产生的荧光值通常更低，并且样品基体中的其它元素有可能会吸收低原子序数元素的能量辐射。
X射线荧光光谱仪主要由以下几部分组成：
（1）激发系统：主要部件为X射线管，可以发出原级X射线，用于照射样品激发荧光X射线；
（2）分光系统：对来自样品待测元素发出的特征荧光X射线进行分辨；
（3）探测系统：对样品待测元素的特征荧光X射线进行强度探测；
（4）仪器控制和数据处理系统：处理探测器信号，给出分析结果。
X射线荧光光谱仪的测试步骤：
（1）选择分析方法与制样方法。分析方法一般有基本参数法、半基本参数法、经验系数法等，制样方法一般有抛光法、压片法、滤纸片法和熔片法，常用粉末压片法制样，采用基本参数法测试。
（2）将制备好的样片装进样品杯，放入样品交换器中，自动进样至样品室，X射线管发出原级X射线照射样品，激发出待测元素的荧光X射线。
（3）样品辐射出的荧光X射线通过分光晶体，将X射线荧光光谱色散成孤立的单色分析线，由探测器测量各谱线的强度，根据选用的分析方法换算成元素浓度，得到样品中待测元素含量。
