XRF光谱分析仪优点:

1)分析速度高。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。

2)XRF光谱分析仪跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。（气体密封在容器内也可分析）但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定 。

3)非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。

4)XRF光谱分析仪是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。

5)分析精密度高。

6)制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。